低能电子衍射是一种基本的表面仪器，它是分析曲面的有效工具。它不仅可以研究洁净单晶（金属、半导体和绝缘体）的表面结构，还可以研究气体吸附的结构。

　　低能电子衍射仪由排斥场分析仪、低能电子枪、清洗离子枪、五维样品架、样品引入系统和提供超高真空系统组成。

　　制动电机绝缘分析仪的低能电子衍射（LEED）在表面研究中有三个作用:

　　1.证明表面的有序性及其周期性和对称性；

　　2.确定单个细胞中原子的位置；

　　3.测量表面缺陷及其随温度、时间和吸附量的变化。

　　低能电子衍射对制动电机的影响

　　制动电机绝缘分析仪低能电子衍射的激发源为低能电子束，仅穿透表面几层原子。低能电子衍射探测的是弹性散射电子（只占散射电子的1% ~ 5%），不同方向的电子通过相干散射发生衍射。它使用荧光屏来检测衍射点。低能电子衍射测试要求样品表面清洁完整。低能电子衍射实验表明，从原子水平上看，单晶表面是不规则和不均匀的，表面上存在几个不同的位置，如平台、台阶、扭结位置、额外的原子和平台上的空位。

　　低能电子衍射是研究表面晶体学的重要方法，通过实验可以获得二维表面胞的尺寸、对称性、表面重构、表面缺陷和相变等信息。